لایه نشانی و مطالعه خواص لایه نازک نانو ساختار آلومینیوم اکسی نیترید(alon) تهیه شده به روش کندو پاش مغناطیسی

پایان نامه
  • وزارت علوم، تحقیقات و فناوری - دانشگاه صنعتی خواجه نصیرالدین طوسی - دانشکده علوم
  • نویسنده علی پیری
  • استاد راهنما شهاب نوروزیان رضا افضل زاده
  • تعداد صفحات: ۱۵ صفحه ی اول
  • سال انتشار 1390
چکیده

در این تحقیق ،لایه های نازک آلومینیوم اکسی نیترید بر روی زیر لایه هایی از جنس bk7 به روش کندوپاش مغناطیسی جریان متناوب انباشته شده اند. هدف از این مطالعات بررسی اثر نسبت گاز نیتروژن ، به عنوان گاز واکنشی و تاثیر دمای زیرآیند بر خواص اپتیکی، سختی، مرفولوژی سطح, آستانه تخریب لایه و پوشش های سطحی alon می باشد. نمونه های مهیا شده، بوسیله سیستم های میکروسکوپ الکترونی روبشی، edx، طیف سنج اپتیکی، سختی سنج نوپ، توان لیزری و میکروسکوپ پروبی روبشی ساختارسنجی شده اند. تغییرات درصد گاز واکنشی و دمای زیرآیند بر روی ضخامت، خواص اپتیکی، آستانه تخریب لایه، مرفولوژی سطح، سختی و ترکیب آلومینیوم اکسی نیترید لایه نشانی شده تاثیر گذار است. از نتایج طیف اپتیکی مشاهده شد، شفافیت نمونه ها بالا است و در درصدهای پایین تر نیتروژن، ضریب شکست لایه به مقدار استاندارد مربوط به al2o3 و در درصدهای بالاتر به مقدار استاندارد ضریب شکست aln نزدیک تر می شود، با افزایش درصد گاز واکنشی نیتروژن میزان آن در لایه نیز افزایش پیدا می کند. با افزایش درصد گاز واکنشی که با کاهش گاز پراکنش همراه است همچنین با افزایش دمای زیرآیند در یک درصد گاز واکنشی یکسان ضخامت لایه کم شده است. زبری سطح نمونه ها بعد از عملیات حرارتی کاهش پیدا می کند. در نمونه هایی که خاصیت aln بیشتری دارد، بالاترین آستانه تخریب را دارند

۱۵ صفحه ی اول

برای دانلود 15 صفحه اول باید عضویت طلایی داشته باشید

اگر عضو سایت هستید لطفا وارد حساب کاربری خود شوید

منابع مشابه

ریزساختار و خواص لایه های نازک اکسید وانادیم(VOx) تهیه شده در دستگاه کند و پاش مغناطیسی واکنشی

لایه های نازک اکسید وانادیم(VOx) در سیستم کند و پاش مغناطیسی جریان مستقیم تهیه شدند. به منظور دستیابی به فازهایمختلف از اکسید وانادیم، نمونه ها تحت دماها و اتمسفرهای مختلف آنیل شدند. در ابتدالایه های نازک اکسید وانادیم(VOx)بدست آمده در دو دمای مختلف 450 و 500oC آنیل شدند. هر دو لایه شامل ترکیبی از فازهای VO2(M) و V2O5 بودند. فاز غالب در دمای 450oC فاز VO2(M) بود که در دمای 500oC به فاز V2O5 ...

متن کامل

ویژگی‌های ساختاری، ریخت‌شناسی و مغناطیسی لایه نازک فریت Co-Zn تهیه شده به روش اسپری پایرولیز

The structural, morphological and magnetic properties of Co0.5Zn0.5Fe2O4 nanoferrite thin films on glass substrates were investigated by X-ray diffraction (XRD), field emission scanning electron microscopy (FE-SEM) and vibrating sample magnetometer (VSM), respectively. These thin films were deposited by spray pyrolysis method and subsequently calcined at 500 and 600 ˚C. The XRD results reveal th...

متن کامل

لایه‌نشانی، مشخصه‌یابی و بررسی خواص الکتریکی نوری لایه نازک نانو ساختار اکسید روی آلاییده شده با منیزیم تهیه شده به روش سل – ژل

اکسید روی (ZnO) به عنوان ماده نیمه ‌رسانا با شکاف نواری مستقیم و پهن، اهمیت زیادی در ساخت قطعات الکترونیکی مانند ترانزیستورهای اثر میدانی و قطعات اپتو الکترونیکی نظیر دیود های نور گسیل و همچنین آشکار سازی نوری دارد. در این پژوهش با استفاده از لایه ‌نشانی به روش سل – ژل، پوشش ‌های لایه نازک از اکسید روی آلاییده شده با درصدهای مختلف منیزیم (6%، 8%، 10%) تولید شد. ایجاد لایه نازک به روش پوشش چرخشی...

متن کامل

مطالعه نانو ساختار و خواص مکانیکی لایه های نازک نتیرید کروم بصورت تابعی از شرایط کندو پاش

نیترید براساس پوششهای سخت به طورگسترده ای برای کاربردهای مکانیکی استفاده میشود .درمیان این پوششها نیتریدکروم ها به طور ویژه قابل توجه هستند زیرا از خواص مکانیکی واصطکاکی خوبی برخوردارهستند.دراین کار تاثیر جریان گاز نیتروژن بر خواص مکانیکی و اصطکاکی لایه های نازک نیترید کروم مورد مطالعه قرار گرفت. لایه های نازک نیترید کروم روی آلومینیم 5083 بوسیله تکنیک کندوپاش مغناطیسی جریان dc درجریانهای مختلف...

15 صفحه اول

تهیه فیلم‌های نازک (نازک لایه) از ترکیبات آلی با استفاده از لایه نشانی چرخشی و لانگمور- بلاجت

فیلم نازک (نازک لایه)، لایه‌ای از مواد آلی با ضخامتی در حد نانومتر تا میکرومتر است. سنتز کنترل‌شده فیلم‌های نازک موضوع مهمی در کاربردهای آنهاست. فیلم های نازک آلی با ضخامت نانومتری، ساختارهایی مفید برای کاربرد در حسگرها، شناساگرها، نمایشگرها و اجزای مدارهای الکترونیکی به‌شمار می‌آیند. لایه نشانی چرخشی و لانگمور- بلاجت از روش‌های کاربردی تهیه فیلم‌های نازک محسوب می‌شوند. در لایه نشانی چرخشی، نیر...

متن کامل

منابع من

با ذخیره ی این منبع در منابع من، دسترسی به آن را برای استفاده های بعدی آسان تر کنید

ذخیره در منابع من قبلا به منابع من ذحیره شده

{@ msg_add @}


نوع سند: پایان نامه

وزارت علوم، تحقیقات و فناوری - دانشگاه صنعتی خواجه نصیرالدین طوسی - دانشکده علوم

میزبانی شده توسط پلتفرم ابری doprax.com

copyright © 2015-2023